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Bei einer Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels Laserstrahlung, mit einer abgebenden Laserstrahlquelle (S), die gepulste Laserstrahlung (3) zur Wechselwirkung mit dem Material (5) abgibt, einer die gepulste Laserstrahlung (3) in das Material (5) auf ein Wechselwirkungszentrum (7) fokussierenden Optik (6), wobei die Laserpulse in die den jeweils zugeordneten Wechselwirkungszentren (7) umgebenden Zonen (8) mit dem Material (5) wechselwirken, so daß in den Wechselwirkungszonen (8) Material (5) getrennt wird, einer die Lage des Wechselwirkungszentrums im Material (5) verstellenden Scaneinrichtung (10) und einer Steuereinrichtung (17), welche die Scaneinrichtung (10) und die Laserstrahlquelle (S) so ansteurt, daß im Material (5) durch Aneinanderreihen von Wechselwirkungszonen (8) eine Schnittfläche (9) entsteht, ist vorgesehen, daß die Steuereinrichtung (17) die Laserstrahlquelle (S) und die Scaneinrichtung (10) so ansteuert, daß benachbarte Wechselwirkungszentren (7) in einem örtlichen Abstand a 10 mum zueinander liegen.
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