| 摘要 |
<p>본 발명은 양자역학적 전계 방출(Field emission) 원리로 전자빔을 방출하는 나노에미터(nano-emitter)(또는 Spindt 형 에미터 팁 형태도 가능)의 전자 방출원(electron emitter)으로서 나노구조 물질로 이루어진 나노에미터 어레이를 원형 기판에 동심원으로 배열되도록 형성하여, 게이트 전극의 전자 유도 부분에 근접된 나노에미터 군을 냉음극으로 이용하여 전자빔을 방출하고, 해당 나노에미터 군의 수명이 다하여 더 이상 제기능을 발휘하지 못하는 경우에 원형 기판을 회전하여 인접한 나노에미터 군으로 음극부를 교체하여 음극부의 재장착 없이도 오랫동안 전자 방출원으로서 이용할 수 있고, 또는 소자의 동작에 필요한 시간 동안, 예를 들어, X선 튜브의 경우에는 X선 발생에 필요한 시간 동안 나노에미터 음극부를 회전시킴으로써, X선 발생 시간(혹은 전자 방출 시간) 동안 각각의 나노에미터가 전자방출에 기여하는 시간을 줄여 음극부 전체의 수명을 증가시킬 수 있는 회전형 전계 방출 소자 및 이를 이용한 X선 발생 장치에 관한 것이다.</p> |
