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Es wird eine Halbleiterfabrik (1) mit Einrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen vorgeschlagen, bei welcher sich wenigstens ein Teil der Einrichtungen (14), (28) zur Herstellung der Halbleiterbauelemente innerhalb einer Kavität (4, 5, 7) in einer geologischen Masse (6) befindet.
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