| 发明名称 | 一种基板刻蚀监测方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基板刻蚀监测方法，其在与被刻蚀基板的一个侧边对应的位置设置一个EPS传感器，在与被刻蚀基板另一侧边对应的位置设置至少一个EPS传感器。本发明利用多个EPS传感器对基板的刻蚀情况进行监测，能够较准确的反映基板当前的状态，避免出现刻蚀不完全的情况。 | ||
| 申请公布号 | CN105914172A | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201610419140.1 | 申请日期 | 2016.06.15 |
| 申请人 | 苏州众显电子科技有限公司 | 发明人 | 熊勇军 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种基板刻蚀监测方法，其在与被刻蚀基板的一个侧边对应的位置设置一个EPS 传感器，其特征在于，在与被刻蚀基板另一侧边对应的位置设置至少一个EPS 传感器。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市开发区青阳南路181号 | ||