| 摘要 |
피커 유닛 검사 시스템은 다수의 반도체 소자들을 픽업하여 제1 수평 방향으로 이송하며, 상기 반도체 소자들 사이의 간격 조절을 위해 피치 조절이 가능한 피커들을 포함하는 복수의 피커 유닛들과, 상기 피커 유닛들의 이송 경로 하방에 구비되며, 상기 피커들에 픽업된 반도체 소자의 위치 및 상기 피커들 사이의 피치를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에서 촬영된 이미지를 이용하여 상기 반도체 소자가 기준 위치에서 벗어난 정도 및 상기 피치와 기준 피치와 차이를 연산하는 연산 유닛 및 상기 연산 유닛의 연산 결과에 따라 상기 피커 유닛들을 제어하여 상기 반도체 소자들이 상기 기준 위치에 위치하도록 상기 피커들의 위치를 조절하고, 상기 기준 피치와 동일하도록 상기 피커들 사이의 피치를 조절하는 제어 유닛을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 피커 유닛이 상기 반도체 소자를 정확하게 이송할 수 있다. |
