发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING BORON NITRIDE FILMS
摘要 Verfahren zur Herstellung von verschleissfesten Bornitridschichten auf Werkstückoberflächen, dadurch gekennzeichnet, dass als Borträger Bortrifluorid verwendet wird, das zur Erzeugung eines reaktionsfähigen Gasgemisches mit einem Stickstofflieferanten, wie Stickstoff, gemischt wird und das so erhaltene Gemisch mittels Glimmentladungsplasma aktiviert wird und eine Bornitridbildung an der Werkstückoberfläche erfolgt.
申请公布号 WO9967439(A1) 申请公布日期 1999.12.29
申请号 WO1999EP04345 申请日期 1999.06.23
申请人 BORTEC GMBH 发明人 HUNGER, HANS-JOERG
分类号 C23C16/34;(IPC1-7):C23C16/34 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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