WAFER HEATING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE,申请号KR19960033130-传众专利搜索

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发明名称	WAFER HEATING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE
摘要
申请公布号	KR100245260(B1)	申请公布日期	2000.02.15
申请号	KR19960033130	申请日期	1996.08.09
申请人	KOKUSA ELECTRIC CO.,LTD.	发明人	MAKIGUCHI, ISEI;HAMANO, KATSYOSI;AKAO, TOKUNOBU
分类号	H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/268	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
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