气化器

摘要

本发明涉及一种用来气化镀膜前驱液的气化器，它由气化罐15、载气储罐2和镀膜前驱液储罐1组成，气化罐上设有气体出口26、内部设有雾化器10和电热丝，其特征在于载气储罐2所连接的管道和镀膜前驱液储罐1所连接的管道经汇总为一根管道后接入气化罐底部并与压力式雾化器10相连，气化罐气体出口连接一个气体计量装置17，它连接一个保温控温装置18并通过管道通往反应器24。本发明的优点是能够提供一种高效率、大流量，能够精确的控制气体在输送状态下的压力及温度的气化器，采用的是利用等温降压的方法对镀膜前驱液进行气化，能够防止气体的冷凝液进入气体输送管道，同时能够将冷凝液再次气化，提高了气化效率，节约成本。

主权项

1、一种气化器，它由气化罐、载气储罐和镀膜前驱液储罐组成，载气储罐通过管道与气化罐连接，镀膜前驱液储罐上设有输液泵并通过管道与气化罐连接，气化罐上设有气体出口、内部设有雾化器和电热丝，其特征在于气化罐内腔底部设有压力式雾化器，载气储罐所连接的管道和镀膜前驱液储罐所连接的管道经汇总为一根管道后接入气化罐底部并与压力式雾化器相连，气化罐气体出口设置在气化罐的顶部并通过管道连接一个气体计量装置，气体计量装置通过管道连接一个保温控温装置，保温控温装置上设有通往反应器的管道。