发明名称 成膜装置
摘要
申请公布号 JP5921351(B2) 申请公布日期 2016.05.24
申请号 JP20120134933 申请日期 2012.06.14
申请人 キヤノン株式会社 发明人 矢崎 陽一
分类号 C23C14/50;C23C14/34;G02B1/113;G02B3/00 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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