| 发明名称 | 基板处理装置的冷却靶座 | ||
| 摘要 | 1.本外观设计产品是用于包括溅镀机的基板处理装置中的靶座。2.后视图和主视图对称，省略后视图。 | ||
| 申请公布号 | CN300943046D | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200730330129.X | 申请日期 | 2007.10.25 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 筒井润一郎;片冈裕司;井上哲也 |
| 分类号 | 15-99 | 主分类号 | 15-99 |
| 代理机构 | 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 洪 磊 |
| 主权项 | |||
| 地址 | 日本国神奈川县茅崎市萩园2500番地 | ||