发明名称 フィルムスタック内の結晶アライメントのためのケイ素/金シード構造
摘要 A silicon/gold (Si/Au) bilayer seed structure is located in a film stack between an amorphous or crystalline lower layer and an upper layer with a well-defined crystalline structure. The seed structure includes a Si layer on the generally flat surface of the lower layer and a Au layer on the Si layer. The Si/Au interface initiates the growth of the Au layer with a face-centered-cubic (fcc) crystalline structure with the (111) plane oriented in-plane. The upper layer grown on the Au layer has a fcc or hexagonal-close-packed (hcp) crystalline structure. If the upper layer is a fcc material its [111] direction is oriented substantially perpendicular to the (111) plane of the Au layer and if the upper layer is a hcp material, its c-axis is oriented substantially perpendicular to the (111) plane of the Au layer.
申请公布号 JP5975477(B2) 申请公布日期 2016.08.23
申请号 JP20110096833 申请日期 2011.04.25
申请人 エイチジーエスティーネザーランドビーブイ 发明人 オラヴ ヘルウィグ;ディーター ケー ウェラー
分类号 G11B5/738;G11B5/64;G11B5/65;G11B5/667;G11B5/673;H01F10/16;H01F10/28;H01F10/30 主分类号 G11B5/738
代理机构 代理人
主权项
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