| 摘要 |
本发明之基板处理方法包含：洗净处理步骤，对处理对象之基板的主面供给纯水以洗净该基板；乾燥前处理步骤，接着对上述基板之主面供给包含挥发性比纯水还高之有机溶剂的乾燥前处理液，将残留于该主面之纯水置换为乾燥前处理液；及乾燥处理步骤，最后除去供给于上述基板之主面的乾燥前处理液以使该基板乾燥。上述乾燥前处理步骤包含：纯水和有机溶剂混合液供给步骤，将包含纯水与上述有机溶剂之混合液作为上述乾燥前处理液而供给于上述基板之主面；及混合比变更步骤，于进行该纯水和有机溶剂混合液供给步骤之期间内，在包含纯水和上述有机溶剂的混合液中增加上述有机溶剂之比例。 |
