| 摘要 |
기판 에칭 시스템은 에칭 제어 모듈, 필터링 모듈, 및 엔드포인트 모듈을 포함한다. 에칭 제어 모듈은 에칭 챔버 내에서 기판의 플라즈마 에칭을 선택적으로 시작한다. 기판의 플라즈마 에칭 동안, 필터링 모듈은, 엔드포인트 정보를 포함하는 신호를 수신하고; EMD (empirical mode decomposition) 를 사용하여 신호를 분해하고; 그리고 EMD의 결과들에 기초하여 필터링된 신호를 생성한다. 엔드포인트 모듈은 필터링된 신호에 기초하여 기판의 플라즈마 에칭의 엔드포인트에 도달되는 때를 나타낸다. 에칭 제어 모듈은 기판의 플라즈마 에칭의 엔드포인트에 도달하였다는 지표에 응답하여 기판의 플라즈마 에칭을 종료한다. |
