发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1145991(A) 申请公布日期 1999.02.16
申请号 JP19970201532 申请日期 1997.07.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAWAKI HIDEYUKI;KASAI YOSHIO
分类号 H01L29/43;H01L21/28;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/43 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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