晶圆固定装置

摘要

本创作例提供一种晶圆固定装置，晶圆固定装置包含一承载板、以及一压板。承载板，具有一圆形穿孔；压板，为一环体，压板固定于承载板之位置对应圆形穿孔；其中，承载板与压板至少其一具有磁性，承载板与该压板利用磁力吸附固定。