加速度传感器装置

摘要

本发明提供一种加速度传感器装置，包括：加速度传感器芯片，具有质量部分、支撑框架和顶面上具有压电电阻器的挠性臂；以及具有IC电路的上部调节板，其面积大于支撑框架并且粘接在支撑框架的顶面上，其中，加速度传感器芯片和上部调节板位于具有盖的保护壳内。调节板从支撑框架的外壁突出，利用该突出来隔开在保护壳内容纳芯片的空间，阻止调节板上方和下方的空气流通，从而在设置在挠性臂的顶面上的压电电阻器之间使由IC电路导致的温度上升保持均匀，从而减小偏移电压。

主权项

1.一种加速度传感器装置，包括：加速度传感器芯片，具有：位于加速度传感器芯片的中央的质量部分；离开质量部分一定距离并且环绕质量部分的支撑框架；将质量部分的顶面与支撑框架的顶面桥接的多个挠性臂；和测量加速度的每个轴向分量的压电电阻器，在所述多个挠性臂中的每一个的顶面上形成为接近质量部分和接近支撑框架；由硅基板制成的上部调节板，在其顶面上具有IC电路，设置为与质量部分的顶面具有预定间隙以覆盖加速度传感器芯片的顶面，并且利用粘接剂粘接在支撑框架上；以及容纳在加速度传感器芯片的顶面上设置有上部调节板的加速度传感器芯片的保护壳，其中，上部调节板大于支撑框架的外周，从而从支撑框架的外壁中的至少一个突出，以覆盖支撑框架。