首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
In order to provide a semiconductor device with high reliability while manufacturing cost is being suppressed, dry etching for an insulating film is performed by using mixed gas containing at least CF 4 gas and C 3 H 2 F 4 gas as its components.
申请公布号
EP3070736(A1)
申请公布日期
2016.09.21
申请号
EP20160150400
申请日期
2016.01.07
申请人
RENESAS ELECTRONICS CORPORATION
发明人
HORIKOSHI, KOTARO;HANAWA, TOSHIKAZU;AKAISHI, MASATOSHI;KIKUCHI, YUJI
分类号
H01L21/311
主分类号
H01L21/311
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
Manufacture of synthetic linear polymers
Device for indoor ball games
Temperature-staged catalyst pretreatment and polymerization process employing same
Alkylaminoacylanilides
KNUEPFRAHMEN FUER WEBKETTENKNUEPFMASCHINEN.
SPIELGERAET.
SCHLUESSELHALTER MIT FLACHEN SCHLUESSELN.
SCHRAUBVERSCHLUSS FUER FLUESSIGKEITSBEHAELTER.
GESICHERTES KABEL FUER FAHRRADBELEUCHTUNG.
VORRICHTUNG ZUM KUPPELN VON FAHRZEUGEN.
SCHAUSTELLUNGS- UND VERKAUFSBEHAELTER FUER STRUEMPFE.
ANSCHLAGTAFEL.
MASSIVER NADELLAGER-KAEFIG.
PHOTOGRAPHISCHE KAMERA UND BLITZLICHTGERAET.
BEFESTIGUNGSVORRICHTUNG FUER ZIERTEILE ODER SCHILDER.
BILDFUEHRUNG FUER DIAPOSITIVE.
AUSGLEICHSGEWICHTS- TASCHE AN HAUBENGARAGEN.
AUSSPARUNGSKASTEN FUER ROHRDURCHFUEHRUNGEN IN MASSIVDECKEN.
ELEKTRISCHER KOCHER FUER VORZUGSWEISE GLASGEFAESSE.
EIERBECHER.