| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Bauelements mit mindestens einem beweglichen Bestandteil |
| 摘要 |
Bei einem Verfahren zur Herstellung eines MEMS-Bauelements (30) mit mindestens einem beweglichen Bestandteil werden separate Fügeteile (71, 72) hergestellt und in einem Fügeschritt präzise zusammengefügt. |
| 申请公布号 |
DE102015220018(A1) |
申请公布日期 |
2016.10.06 |
| 申请号 |
DE201510220018 |
申请日期 |
2015.10.15 |
| 申请人 |
Carl Zeiss SMT GmbH |
发明人 |
Sarov, Yanko;Hauf, Markus |
| 分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;B81B7/02;B81B7/04;G02B5/08;G02B26/08;G03F7/20 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
