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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG MIT KRISTALLDEFEKTEN
摘要
申请公布号
DE69621385(T2)
申请公布日期
2002.11.14
申请号
DE19966021385T
申请日期
1996.02.19
申请人
ROHM CO. LTD., KYOTO
发明人
SAKAMOTO, LTD.
分类号
H01L21/26;H01L21/263;H01L21/322;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/32;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/26
主分类号
H01L21/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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