条件式返工生产流程的控制方法

摘要

一种条件式返工生产流程的控制方法。本发明是通过条件式的设定方式来达成指定机台的返工流程，所以无须将光刻站至蚀刻站的工艺建构于返工流程中而与正常的返工流程无异，因此本发明既能增加晶片的生产合格率，而且也可以避免公知的指定机台的返工流程的缺点。

主权项

1.一种条件式返工生产流程的控制方法，用以控制一批晶片于一主流程上所进行的工艺，该主流程包括一前站及一后站，其中该前站具有一返工流程，而该后站具有一指定机台，其特征是，该控制方法包括下列步骤：设定一条件式返工机制；当该批晶片进入该前站而进行该前站的工艺时，如果该批晶片的工艺不良，则该批晶片会进入一返工流程而进行该返工流程的工艺，并且该条件式返工机制会记录该批晶片的一返工信息；该批晶片会返回该主流程而继续进行该主流程之其它站的工艺；当该批晶片进入该后站时，该条件式返工机制会依据该返工信息而使该批晶片进入该指定机台，以进行该后站的工艺。