Laserbasiertes Festkörpertrennverfahren

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Erzeugen eines Ablösebereichs in einem Festkörper zum Ablösen eines Festkörperanteils von dem Festkörper. Das Verfahren umfasst dabei mindestens die Schritte: Bereitstellen eines zu bearbeitenden und bevorzugt für LASER-Strahlung transparenten Festkörpers; Erzeugen oder identifizieren eines Initialkristallgitterdefekts in dem Kristallgitter des Festkörpers; Erzeugen eines gegenüber dem Initialkristallgitterdefekt vergrößerten Kristallgitterdefekts durch eine LASER-Beaufschlagung des Kristallgitters im Bereich des Initialkristallgitterdefekts, wobei während der LASER-Beaufschlagung der LASER-Strahlfokus den Initialkristallgitterdefekt abschnittsweise überlagert.