SYSTEM CORRECTION FROM LONG TIMESCALES

摘要

마이크로리소그래피용 투영 렌즈의 수차는 2개의 종류로 세분될 수 있다: 그 현재 크기에 상관없이 그 미래의 크기가 일정 시간 기간 후 상당한 값만큼 증가한다는 사실에 의해 구별되는 수차의 제 1 종류, 및 각각의 추가 시간 기간 후에 극히 작은 값만큼만 증가하는 수차의 제 2 종류. 서로 시간적으로 동시에 수차의 2개의 종류를 조정하는 조정 방법이 제안된다.