| 摘要 |
집적회로 장치는 기판 상에 제1 방향으로 연장하는 제1 및 제2 핀형 활성 영역, 상기 제1 및 제2 핀형 활성 영역과 교차하는 제2 방향으로 일직선 상에서 연장되며, 상기 제1 및 제2 핀형 활성 영역과 각각 교차하는 제1 및 제2 게이트 라인, 상기 제1 게이트 라인 일측 상의 상기 제1 핀형 활성 영역 상에 형성되며, 상기 제1 게이트 라인과 접촉하는 제1 콘택 구조물, 및 상기 제2 핀형 활성 영역 상에서 상기 제2 게이트 라인 일측 상에 형성되는 제2 콘택 구조물을 포함하며, 상기 제1 콘택 구조물은 금속 실리사이드 물질을 포함하는 제1 하부 콘택 및 상기 제1 하부 콘택 상의 제1 상부 콘택을 포함하고, 상기 제2 콘택 구조물은 금속 실리사이드 물질을 포함하는 제2 하부 콘택 및 상기 제2 하부 콘택 상의 제2 상부 콘택을 포함한다. |
