发明名称 Buried wiring and method of thereof
摘要 본 발명은 매립형 배선 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
申请公布号 KR20160114956(A) 申请公布日期 2016.10.06
申请号 KR20150041496 申请日期 2015.03.25
申请人 LG CHEM, LTD. 发明人 JEONG, YU JIN;JUNG, JIN MI;SHIN, BU GON;PARK, JEONG HO
分类号 H01L21/3205;H01L21/314;H01L21/324 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址