发明名称 |
Buried wiring and method of thereof |
摘要 |
본 발명은 매립형 배선 및 이의 제조방법에 관한 것이다. |
申请公布号 |
KR20160114956(A) |
申请公布日期 |
2016.10.06 |
申请号 |
KR20150041496 |
申请日期 |
2015.03.25 |
申请人 |
LG CHEM, LTD. |
发明人 |
JEONG, YU JIN;JUNG, JIN MI;SHIN, BU GON;PARK, JEONG HO |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/314;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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