一种锥形微孔阵列及其制备方法

摘要

本发明公开一种锥形微孔阵列的制备方法，包括以下步骤：制作锥形微孔阵列图形文件，设计微孔入口图形孔径为20‑50μm，使脉冲激光焦点落于非金属薄膜的表面，然后根据锥形微孔阵列图形文件沿着圆周方向扫描打孔，即在非金属薄膜上制备得到锥形微孔阵列，经激光加工后入口孔径50‑100μm，孔深为0.1‑0.5mm，出口孔径为1‑10μm。本发明用脉冲激光在非金属薄膜上进行加工得到锥形微孔阵列，该方法的加工精度高、微孔尺寸可控，具有很好的应用前景。

主权项

一种锥形微孔阵列的制备方法，所述锥形微孔阵列是在非金属薄膜上打孔得到的，包括以下步骤：制作锥形微孔阵列图形文件，设计微孔入口图形孔径为20‑50μm；使脉冲激光焦点落于非金属薄膜的表面，然后根据锥形微孔阵列图形文件沿着圆周方向扫描打孔，即在非金属薄膜上制备得到锥形微孔阵列；所述脉冲激光波长为980‑1064nm，功率为20‑100w，激光频率为20‑50KHz，脉宽为20‑200ns，扫描次数为500‑1000次。