发明名称 METHOD FOR FORMING POLYCIDE WIRING
摘要
申请公布号 JPH11317410(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19990034239 申请日期 1999.02.12
申请人 SONY CORP 发明人 ITO MASAHIKO
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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