| 发明名称 | 能够消除系统自身杂散光的哈特曼波前传感器 | ||
| 摘要 | 一种能够消除系统自身杂散光的哈特曼波前传感器，包括：测量光源系统、光束匹配系统、微透镜阵列和CCD，在测量光源系统的出光口前面放置起偏器；在光束匹配系统和被测件之间放置1/4波片；在微透镜阵列前面放置检偏器，并且检偏器的检偏方向和起偏器的起偏方向相互垂直，测量光源系统出射的光经起偏器后便会成为线偏振光，线偏振光经光束匹配系统后，经1/4波片后成为圆偏振光，再经被测物后返回系统，经1/4波片后圆偏振光便成为线偏振光，此时的偏振方向和由起偏器出射时的偏振方向相互垂直，经光束匹配系统后，经检偏器后，进入微透镜阵列进行测量。本发明减小了由于杂散光引起的质心运算误差，提高了测量精度。 | ||
| 申请公布号 | CN101078636A | 申请公布日期 | 2007.11.28 |
| 申请号 | CN200710118053.3 | 申请日期 | 2007.06.28 |
| 申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 饶学军;李华强;王成;饶长辉 |
| 分类号 | G01D5/26(2006.01);G02B27/28(2006.01) | 主分类号 | G01D5/26(2006.01) |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 贾玉忠;卢纪 |
| 主权项 | 1、一种能够消除系统自身杂散光的哈特曼波前传感器，包括：测量光源系统、光束匹配系统、微透镜阵列和CCD，其特征在于：在测量光源系统的出光口前面放置起偏器；在光束匹配系统和被测件之间放置<img file="A2007101180530002C1.GIF" wi="33" he="105" />波片；在微透镜阵列前面放置检偏器，并且检偏器的检偏方向和起偏器的起偏方向相互垂直，测量光源系统出射的光经起偏器后便会成为线偏振光，线偏振光经光束匹配系统后，经<img file="A2007101180530002C2.GIF" wi="33" he="106" />波片后成为圆偏振光，再经被测物后返回系统，经<img file="A2007101180530002C3.GIF" wi="32" he="106" />波片后圆偏振光便成为线偏振光，此时的偏振方向和由起偏器出射时的偏振方向相互垂直，经光束匹配系统后，经检偏器后，进入微透镜阵列进行测量。 | ||
| 地址 | 610209四川省双流350信箱 | ||