| 发明名称 |
Spiegel-Einrichtung |
| 摘要 |
Eine Spiegel-Einrichtung (29) umfasst mindestens ein elektrisch leitfähiges Abschirm-Element (25), welches ein Mittel zur Erzeugung eines elektrischen Feldes in einem an mindestens eine Seitenfläche (22) und/oder eine Rückseite (21) eines Spiegel-Körpers (35) angrenzenden Bereich bildet. |
| 申请公布号 |
DE102014226272(A1) |
申请公布日期 |
2016.06.23 |
| 申请号 |
DE201410226272 |
申请日期 |
2014.12.17 |
| 申请人 |
Carl Zeiss SMT GmbH |
发明人 |
Sarov, Yanko;Holz, Markus;Zimmer, Fabian;Wengler, Mark Christof;Hauf, Markus |
| 分类号 |
G02B5/08;G02B5/09;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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