槽式湿制程设备

摘要

本创作揭露一种槽式湿制程设备，包含：至少一处理槽，具有复数定位构件；使用复数基板载具，该基板载具上具有复数齿型突出部间隙，用以承载复数基板；以及一输送装置，该输送装置系藉由该复数承载部移动该复数基板载具；其中，各该处理槽中可容置二个或四个该基板载具，藉由该定位构件，使该基板载具容置于一特定位置。