| 摘要 |
方法および化学薬品供給システムが提供される。この方法は、ヘッドスペースを有するボイラー中に濃縮過酸化水素水溶液を準備するステップと、濃縮過酸化水素水溶液を沸騰させて、ボイラーのヘッドスペース内で過酸化水素を含む希薄蒸気を生成させるステップと、ボイラー内の濃縮過酸化水素水溶液に希薄過酸化水素水溶液を添加して、ボイラー中の過酸化水素水溶液の濃度を維持するステップとを含む。この方法は、過酸化水素を含む希薄蒸気を重要プロセスまたは用途に供給するステップをさらに含む。化学薬品供給システムは、濃縮過酸化水素水溶液と、濃縮過酸化水素水溶液を沸騰させ、ヘッドスペース内に過酸化水素を含む希薄蒸気を生成させるために構成されたヘッドスペースを有するボイラーと、ボイラー内の濃縮過酸化水素水溶液に希薄過酸化水素水溶液を添加して、ボイラー中の過酸化水素水溶液の濃度を維持するために構成されたマニホールドとを含み、マニホールドは、過酸化水素を含む希薄蒸気を重要プロセスまたは用途に供給するようにさらに構成される。【選択図】図１ |
