| 摘要 |
본원발명은 직선 이송기구의 운동오차 측정장치에 관한 것으로 상세하게는 고정부와 상기 고정부를 가이드로하여 그 위를 움직이는 이동부를 포함하는 초정밀 직선 이송기구의 오차를 측정하는 장치에 있어서, 단면이 'ㄴ'형상의 부재로 일단이 이동부 위에 설치되는 센서지그와, 센서지그의 수직면과 수평면에 다수의 개가 설치되는 센서 및, 고정부의 측면에 이격되게 설치되는 것으로 센서지그의 형상에 대응되는 참조면을 포함하는 참조부로 구성되되, 상기 직선 이송기구의 이동부가 고정부 위에서 y축 방향(상기 고정부의 길이방향)으로 직선운동을 하되 상기 고정부에 평행하게 배열된 상기 참조부의 상기 참조면을 향하도록 상기 이동부에 결합되어 있는 상기 센서지그에 배치된 복수개의 상기 센서를 이용하여 상기 오차들의 일부를 포함하는 각 센서별 측정값을 측정하는 것을 특징으로 한다.또한, 본원발명은 직선 이송기구의 운동오차 측정방법에 관한 것으로 상세하게는 y축 방향으로 직선운동을 하며, 수평(x)방향 운동오차, 수직(z)방향 운동오차, 롤(roll) 오차, 요(yaw) 오차 및 피치(pitch) 오차를 가지는 직선 이송기구의 운동오차 측정방법에 있어서, (a) 직선 이송기구의 이동부가 고정부 위에서 y축 방향으로 직선운동을 하되 y축에 평행하게 배열된 참조부의 참조면을 향하도록 이동부에 결합되어 있는 센서지그에 배치된 복수개의 센서를 이용하여 상기 오차들의 일부를 포함하는 각 센서별 측정값을 측정하는 단계 및, (b) (a) 단계에서 구해진 측정값을 이용하여 상기 오차들을 산출하는 단계를 포함하고, 센서지그는 단면이 'ㄴ'형상의 부재로 일단이 이동부 위에 설치되고, 센서가 센서지그의 수직면과 수평면에 다수개가 설치되는 것을 특징으로 한다.또한, 본원발명은 직선 이송기구의 운동오차 측정방법에 관한 것으로 상세하게는 y축 방향으로 직선운동을 하며, 수평(x)방향 운동오차, 수직(z)방향 운동오차, 롤(roll) 오차, 요(yaw) 오차 및 피치(pitch) 오차를 가지는 직선 이송기구의 운동오차 측정방법에 있어서, (a)y축에 평행하게 배열된 참조부의 수직 참조면을 향하도록 배치된 제1센서을 이용하여 수직 참조면의 형상오차, 수평방향 운동오차, 요 오차를 포함하는 제1측정값을 측정하는 단계와, (b)제1센서와 y축 방향으로 일정간격으로 이격되어 배치된 제2센서를 이용하여 수직 참조면의 형상오차, 수평방향 운동오차를 포함하는 제2측정값을 측정하는 단계와, (c)제2센서와 y축 방향으로 일정간격으로 이격되어 배치된 제3센서를 이용하여 수직 참조면의 형상오차, 수평방향 운동오차, 요 오차를 포함하는 제3측정값을 측정하는 단계와, (d)제1센서와 z축 방향으로 일정간격으로 이격되어 배치된 제4센서를 이용하여 수직 참조면의 형상오차, 수평방향 운동오차, 요 오차를 포함하는 제4측정값을 측정하는 단계와, (e)제4센서와 y축 방향으로 일정간격으로 이격되어 배치된 제5센서를 이용하여 수직 참조면의 형상오차, 수평방향 운동오차를 포함하는 제5측정값을 측정하는 단계와, (f)y축에 평행하게 배열된 참조부의 수평 참조면을 향하도록 배치된 제6센서을 이용하여 수평 참조면의 형상오차, 수평방향 운동오차, 피치 오차를 포함하는 제6측정값을 측정하는 단계와, (g)제6센서와 y축 방향으로 일정간격으로 이격되어 배치된 제7센서를 이용하여 수평 참조면의 형상오차, 수평방향 운동오차를 포함하는 제7측정값을 측정하는 단계와, (h)제7센 |
