发明名称 一种芯片点测机
摘要 本实用新型的一种芯片点测机,技术目的是提供一种测试定位精准,测试结构可靠稳定的芯片点测机。包括有一基座,所述基座上设有XYZ精密定位工作台,XYZ精密定位工作台上方设有一安装板;所述XYZ精密定位工作台上滑动有调整滑块,所述调整滑块上设有芯片检测座,所述芯片检测座上方设有一显微镜,所述芯片检测座上方设有积分球组件,在所述芯片检测座上外周,设有寻边探针模组。本实用新型设备的利用率高,降低了生产成本,生产效率高,适用于芯片测试中应用。
申请公布号 CN205810766U 申请公布日期 2016.12.14
申请号 CN201620620855.9 申请日期 2016.06.21
申请人 深圳市朝阳光科技有限公司 发明人 邓朝旭
分类号 H01L21/66(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/66(2006.01)I
代理机构 深圳市翰琪知识产权代理有限公司 44380 代理人 吴雅丽
主权项 一种芯片点测机,包括有一基座,其特征是:所述基座上设有XYZ精密定位工作台,XYZ精密定位工作台上方设有一安装板;所述XYZ精密定位工作台上滑动有调整滑块,所述调整滑块上设有芯片检测座,所述芯片检测座上方设有一显微镜,所述芯片检测座上方设有积分球组件,在所述芯片检测座上外周,设有寻边探针模组。
地址 518000 广东省深圳市龙华新区大浪街道高峰社区乌石岗工业区第十栋厂房