游标卡尺激光刻划精度自动控制装置

摘要

游标卡尺激光刻划精度自动控制装置，属于激光精密刻划装置的进一步改进。其特征是X振镜和45°反射镜固定安装在可移动进行工位互换的支架上，X振镜的零点位置和45°反射镜在同一平面上，由计算机控制电磁换向阀的运动，从而对气缸的进给运动及其连接的支架运动进行程序控制。具有游标卡尺刻划精度高的特点。

主权项

1、一种游标卡尺激光刻划精度自动控制装置，激光束经Y振镜1和X振镜4,F-θ平场聚焦透镜9聚焦到工件上，实现一维扫描或二维扫描，其特征在于X振镜4和45°反射镜2固定安装在可移动进行工位互换的支架3上，X振镜4的零点位置和45°反射镜2在同一平面上。