发明名称 |
功率电路组件及制造方法 |
摘要 |
一种功率电路组件(10)包括基底(12),该基底(12)包括衬底(14),在衬底之上的多个互连电路层(16),每个互连电路层(16)包括形成有衬底电互连线(20)图案的衬底绝缘层(18),和从衬底的顶部表面延伸到至少一个衬底电互连线(20)的通路接线(22,24);以及包括功率半导体器件(28)的功率半导体模块(26),每个功率半导体器件(28)包括在各自功率半导体器件的顶部表面上的器件焊盘(30)和在各自功率半导体器件的底部表面上的背面触点(31),功率半导体器件与薄膜结构(32)耦合,该薄膜结构包括薄膜绝缘层(34)和在薄膜绝缘层之上并选择性地延伸到器件焊盘的薄膜电互连线(36),其中背面触点(31)与选择的衬底电互连线或者通路接线耦合。 |
申请公布号 |
CN1956192A |
申请公布日期 |
2007.05.02 |
申请号 |
CN200610160598.6 |
申请日期 |
2006.10.26 |
申请人 |
通用电气公司 |
发明人 |
E·C·德尔加多;R·A·博普雷 |
分类号 |
H01L25/00(2006.01);H01L23/488(2006.01);H01L21/60(2006.01) |
主分类号 |
H01L25/00(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
肖春京;杨松龄 |
主权项 |
1、一种功率电路组件(10),包括:基底(12),包括衬底(14),在衬底之上的多个互连电路层(16),每个互连电路层(16)包括形成有衬底电互连线(20)图案的衬底绝缘层(18),和从衬底的顶部表面延伸到至少一个衬底电互连线(20)的通路接线(22、24);以及功率半导体模块(26),包括功率半导体器件(28),每个功率半导体器件(28)包括在各自功率半导体器件的顶部表面上的器件焊盘(30)和在各自功率半导体器件的底部表面上的背面触点(31),功率半导体器件与薄膜结构(32)耦合,该薄膜结构包括薄膜绝缘层(34)和在薄膜绝缘层之上并选择性地延伸到器件焊盘的薄膜电互连线(36),其中背面触点(31)与所选择的衬底电互连线或者通路接线耦合。 |
地址 |
美国纽约州 |