X射线检查装置

摘要

本发明包括：一对输送机框架(71、72)，以沿着基板输送方向的中心线(120a)为轴的对称形设置而成对，且沿着基板宽度方向夹持印刷基板(W)；基板输送机构，沿着X轴方向输送支撑于各所述输送机框架(71、72)的印刷基板(W)；以及间隔调整机构(90)，以使两输送机框架(71、72)分别沿着Y轴方向彼此靠近或离开的方式驱动两输送机框架(71、72)，由此，调整设置于各输送机框架(71、72)的基板输送机构能够输送印刷基板(W)的宽度尺寸。

主权项

一种X射线检查装置，使用在沿着预先设定的基板输送方向输送印刷基板的输送路径上，其特征在于包括：基板台，保持所述印刷基板；X射线源，对保持在所述基板台上的所述印刷基板照射X射线；X射线相机单元，隔着所述基板台与所述X射线源相对置，包含拍摄保持在该基板台上的印刷基板的X射线图像的X射线相机，并使所述X射线相机能够在平面上与所述X射线源相对地移动，以便执行斜视拍摄，该斜视拍摄通过从倾斜方向对以指定的角度被照射X射线的印刷基板拍摄重点检查部位而进行；框体，构成所述基板台的主体部分，该框体具有供X射线通过的开口；一对输送机框架，从与所述基板输送方向水平正交的基板宽度方向夹持所述印刷基板；一对基板输送机，分别设置于各输送机框架而成对，该一对基板输送机构成沿着所述基板输送方向输送支撑于所述输送机框架的印刷基板的基板输送机构；间隔调整机构，以使两输送机框架分别沿着所述基板宽度方向彼此靠近或离开的方式驱动两输送机框架，以便调整所述基板输送机构能够输送印刷基板的宽度尺寸；可动框架，配置在所述框体的下面；以及台驱动机构，包含所述可动框架，该台驱动机构经由所述可动框架沿着与所述基板输送方向正交的水平方向驱动所述基板台；其中，所述间隔调整机构，以使两输送机框架均等地靠近或离开的方式驱动两输送机框架，所述一对输送机框架，以所述开口的沿着所述基板的输送方向的中心轴为轴的对称形而配置在所述框体上，所述可动框架，与所述框体同样为中央开口的框形的结构体，所述一对输送机框架，分别具有在所述基板宽度方向上相对置的对置缘，在所述对置缘上形成有以在所述X射线照射单元的X射线照射方向上，使下游侧扩大的方式倾斜的倾斜面。