一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机

摘要

一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，本发明的膜厚控制仪主机位于炉体顶板上方安装在转轴上端，晶振探头安装在工件转架上，晶振探头的电导线和信号线从转轴的上部的中空的腔体中密封穿出炉体，冷却水回路从转轴的下部的中空的腔体中密封穿出炉体，即本发明实现了晶振探头水电的分开传送。本发明把晶振探头的冷却水回路及其电导线与信号线分开分别从炉体传动轴的下部和上部传送，改变了现有技术中集中在传动轴上部传送的方式，水电分离传送，简化了之前传动轴上述庞杂的结构，有利于提高设备的可靠性，降低故障率。

主权项

一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，包括炉体、转轴、工件转架、转轴驱动机构、晶振探头和膜厚控制仪主机，所述炉体由炉壁、炉体底盘和炉体顶板组成，转轴竖向安装在炉体中部，上、下端分别与所述炉体顶板、炉体底盘密封安装，转轴上端穿出所述炉体顶板，膜厚控制仪主机位于所述炉体顶板上方安装在所述转轴上端，工件转架安装在所述转轴上位于炉体内部，晶振探头安装在所述工件转架上，其电导线和信号线密封穿出所述炉体与所述膜厚控制仪主机相连，其冷却水回路密封穿出所述炉体与连接外部供回水系统的旋转接头相连，转轴驱动机构从炉体外部与所述转轴相连并驱动转轴转动，所述工件转架、膜厚控制仪主机及晶振探头随所述转轴同步转动；其特征在于，所述转轴的上部和下部内部均有中空的腔体，所述晶振探头的电导线和信号线从所述转轴的上部的所述中空的腔体中密封穿出所述炉体，所述冷却水回路从所述转轴的下部的所述中空的腔体中密封穿出所述炉体，即实现水电的分开传送。