发明名称 一种线路板开孔金属化的连续镀膜设备及其方法
摘要 本发明涉及一种线路板开孔金属化的连续镀膜设备,包括依次连接的进片室、前过渡室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后过渡室、出片室;进片室的入口处设有真空锁,进片室和前过渡室之间设有真空锁,前过渡室和前缓冲室之间设有真空锁,后缓冲室和后过渡室之间设有真空锁,后过渡室和出片室之间设有真空锁,出片室的出口处设有真空锁;连通的前缓冲室、镀膜室、后缓冲室形成相通的真空室;镀膜室内设有镀膜源。所述进片室的入口端设有进料架,出片室的出口端设有出料架。本发明还涉及一种线路板开孔金属化的连续镀膜方法,本发明能采用环保的方式对线路板的开孔进行金属化的处理,属于线路板开孔的金属化处理的技术领域。
申请公布号 CN106011751A 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201610504225.X 申请日期 2016.06.28
申请人 广东腾胜真空技术工程有限公司 发明人 朱文廓;朱刚劲;朱刚毅
分类号 C23C14/32(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;H05K3/42(2006.01)I 主分类号 C23C14/32(2006.01)I
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人 裘晖
主权项 一种线路板开孔金属化的连续镀膜设备,其特征在于:包括依次连接的进片室、前过渡室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后过渡室、出片室;进片室的入口处设有真空锁,进片室和前过渡室之间设有真空锁,前过渡室和前缓冲室之间设有真空锁,后缓冲室和后过渡室之间设有真空锁,后过渡室和出片室之间设有真空锁,出片室的出口处设有真空锁;连通的前缓冲室、镀膜室、后缓冲室形成相通的真空室;镀膜室内设有镀膜源。
地址 526060 广东省肇庆市端州一路宾日工业村