摘要 |
【課題】非接触式のピッチ測定装置において精度を向上させたピッチ測定構造を提供する。【解決手段】ピッチ測定構造(10)は、回転体(S)を回転自在に支持する軸部(11)と、軸部を回転駆動する駆動部(12)と、軸部とともに回転する回転体に所定の直線軌道を描くレーザスポット光線を連続時間に亘って照射し、回転体からの反射光に基づいて、レーザスポット光線を横切る突起(Q)までの距離を複数回測定して出力するレーザ測距部(13)と、軸部の回転条件から軸部の角度データを蓄積し、レーザ測距部から出力される距離から角度データに対応する距離データを蓄積し、角度データおよび距離データから複数の突起間のピッチを演算するピッチ演算部(14)とを備える。【選択図】図1 |