发明名称 Poliervorrichtung und Verwendung einer Poliervorrichtung
摘要 Die Erfindung betrifft eine Poliervorrichtung zum Polieren einer Oberfläche (20), insbesondere zum Polieren einer gekrümmten und/oder strukturierten Oberfläche (20) eines optischen Elements (2), umfassend eine Trägerstruktur (10) und ein an der Trägerstruktur (10) angebrachtes Polierelement (11), wobei das Polierelement (11) einen Grundkörper (110) aus einem elastisch verformbaren Material aufweist, und wobei ein Polierbelag (114) direkt auf einer der zu polierenden Oberfläche (20) zugewandten Nutzseite (112) des Grundkörpers (110) aufgebracht ist. Die Erfindung betrifft weiter eine Verwendung einer Poliervorrichtung (1) und ein Verfahren zum Polieren einer Oberfläche (20), insbesondere zum Polieren einer gekrümmten und/oder strukturierten Oberfläche (20) eines optischen Elements (2).
申请公布号 DE102015208820(A1) 申请公布日期 2016.11.17
申请号 DE201510208820 申请日期 2015.05.12
申请人 Carl Zeiss SMT GmbH 发明人 Maier, Robert;Jalics, Christof;Kourouklis, Christos
分类号 B24B13/01;B24B13/00 主分类号 B24B13/01
代理机构 代理人
主权项
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