发明名称 |
PRODUCTION OF SILICA FILLER, COMPOSITION FOR FILLER AND ITS PRODUCTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1143320(A) |
申请公布日期 |
1999.02.16 |
申请号 |
JP19970200010 |
申请日期 |
1997.07.25 |
申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
MURAYAMA HARUO;MINAMI TOSHIRO;SHIRAISHI KOICHI;TAKAHASHI KENJI |
分类号 |
C01B33/18;C08K3/36;C08K7/14;C09C1/28;C09C3/12;H01L21/56;H01L23/29;H01L23/31;(IPC1-7):C01B33/18 |
主分类号 |
C01B33/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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