| 发明名称 |
ELECTRON BEAM PLASMA FORMATION FOR SURFACE CHEMISTRY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1218916(A4) |
申请公布日期 |
2002.09.25 |
| 申请号 |
EP20000955916 |
申请日期 |
2000.07.06 |
| 申请人 |
USHIO INTERNATIONAL TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
WAKALOPULOS, GEORGE |
| 分类号 |
G21K5/04;A61L2/08;A61L2/14;B01J19/08;B29C35/08;B29C59/14;B29C59/16;C23C16/48;H01J33/02;H01L21/31;H05H1/24;(IPC1-7):H01J33/04 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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