| 发明名称 |
A process for fabricating oxides |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2367427(B) |
申请公布日期 |
2002.09.25 |
| 申请号 |
GB20010018143 |
申请日期 |
2000.01.12 |
| 申请人 |
* LUCENT TECHNOLOGIES INC |
发明人 |
YUANNING * CHEN;SAILESH MANSINH * MERCHANT;PRADIP KUMAR * ROY;SUNDAR SRINIVASAN * CHETLUR |
| 分类号 |
H01L21/283;C30B33/00;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/318;H01L29/51;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/283 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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