| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung und/oder Oberflächenbehandlung von Substraten mittels Niederdruck-Plasma sowie Verwendung der Vorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10123583(B4) |
申请公布日期 |
2006.10.05 |
| 申请号 |
DE20011023583 |
申请日期 |
2001.05.15 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
JUNG, THOMAS |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/509;C23C16/52;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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