| 发明名称 |
モリブデン含有皮膜の堆積のためのビス（アルキルイミド）−ビス（アルキルアミド）モリブデン分子 |
| 摘要 |
ビス（アルキルイミド）−ビス（アルキルアミド）モリブデン化合物、該化合物の合成、及び該化合物の、モリブデン含有皮膜の堆積のための使用が開示される。【選択図】図５ |
| 申请公布号 |
JP2016516892(A) |
申请公布日期 |
2016.06.09 |
| 申请号 |
JP20150562387 |
申请日期 |
2014.03.12 |
| 申请人 |
レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード |
发明人 |
ジュリアン ガティノ;コ チャンヒ;横田 二郎;クレマン ランサロット−マトラス |
| 分类号 |
C23C16/18;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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