用于同时测量两个表面区域的双光束彩色点传感器系统的操作方法

摘要

用于同时测量两个表面区域的双光束彩色点传感器系统的操作方法。一种系统和方法提供被操作成能够同时测量两个表面区域的双光束彩色点传感器(CPS)系统。在一个实施方式中，单光束CPS光学笔可安装有双光束组件。系统的第一和第二测量光束可以分别定位于第一和第二表面区域，并且均将光反射穿过双光束CPS的共焦孔。确定至少一组测量数据，所述测量数据包括从第一测量光束产生的第一测量数据和从第二测量光束产生的第二测量数据。至少第一个表面区域可以移动以在多个位置获得测量数据组。利用极细微的分辨率(例如，至少与10nm一样细微)确定各测量数据。系统和方法满足如下应用：无需使用干涉仪或其他贵且复杂的元件就能要求这样的分辨率和精度。

主权项

一种用于同时测量两个表面区域的多光束彩色共焦点传感器系统的操作方法，所述方法包括：提供被构造成同时测量两个表面区域的多光束彩色共焦点传感器系统并且同时提供沿着不同测量路径的两个测量光束，所述彩色共焦点传感器系统包括具有共焦孔的光学笔；将来自所述彩色共焦点传感器系统的第一测量光束定位于第一表面区域，将来自所述彩色共焦点传感器系统的第二测量光束定位于第二表面区域，其中至少所述第一表面区域位于工件上；接收从所述第一测量光束和所述第二测量光束产生并穿过所述彩色共焦点传感器系统和所述共焦孔返回的工件测量光；确定至少一组测量数据，所述测量数据包括从所述第一测量光束产生的第一距离测量数据和从所述第二测量光束产生的第二距离测量数据；以及基于所述至少一组测量数据，确定工件特征测量数据和工件特征位置变化中的至少一方。