ＭＥＭＳ式熱量計、その製造および使用

摘要

【課題】ポリマー層上に形成された薄膜基板に支持される２つのマイクロチャンバを含むＭＥＭＳ式熱量計が提供される。【解決手段】薄膜基板は、２つのマイクロチャンバ間の温度差を測定する熱電センサと、熱的に安定し、かつ、強度に優れたポリマーダイアフラムとを含む。ＭＥＭＳ式熱量計を製造する方法が提供されるとともに、例えば、生体分子などの材料の熱的性質、あるいは、化学反応または物理的相互作用の熱力学的性質を測定するために当該熱量計を用いる方法も提供される。