气体供给集成单元和气体单元的增设方法

摘要

为了提供增设线路时的气体单元的操作性良好的气体供给集成单元和气体单元增设方法，在将气体单元(1、2、A～E)安装到轨道(31、32)上的气体供给集成单元上，设置过程气体共同流路端部手动阀(28)和吹扫气体共同流路端部手动阀(29)，在形成于轨道(31、32)上的导向槽(31a、31b、32a、32b)上，可滑动地安装形成有2个螺栓孔(471、471)的T型螺母(45、46、47)，在增设的第六气体单元(F)上设置与过程气体共同流路端部手动阀(28)连通的另一过程气体共同流路端部手动阀(41)和与吹扫气体共同流路端部手动阀(29)连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀(42)，通过将贯通该第六气体单元(F)的螺栓(V)紧固到螺栓孔(471)中，通过T型螺母(47F)将第六气体单元(F)安装到轨道(31、32)上。

主权项

1.一种气体供给集成单元，包括多个气体单元，所述气体单元由第一手动阀、第二手动阀以及第三控制阀通过流路块串联连成一体而构成，所述第一手动阀设在出口流路上；所述第二手动阀设在用于连通该第一手动阀和过程气体共同流路的位置上；所述第三控制阀设在用于连通该第一手动阀和吹扫气体共同流路的位置上，其特征在于，包括与所述过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与所述吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀；在以直角方向与所述气体单元的气流交叉而设置多个，并安装有所述气体单元的轨道上形成导向槽，至少形成有2个螺栓孔的安装部件可滑动地安装在所述导向槽上；增设的气体单元，包括与所述过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、和与所述吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀，通过将贯通该增设的气体单元的螺栓紧固到所述螺栓孔中而安装到所述安装部件上。