一种基于IPMC的阵列式柔性曲面自传感驱动器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于IPMC的阵列式柔性曲面自传感驱动器及其制备方法，其特征在于：是在聚电解质柔性基体层的上、下表面皆呈阵列式设置有多个片状电极；上、下表面的片状电极一一对称，相对称的两片状电极及夹持在两片状电极中间的部分聚电解质柔性基体层形成传感功能元件或致动功能元件；在各片状电极的边缘皆向外延伸有电路；其制备方法为：通过掩膜的方式，或通过整体镀覆后再激光切割的方式，在聚电解质柔性基体层上形成片状电极和电路。本发明的自传感驱动器工艺简单，且利用了IPMC兼具传感功能和致动功能的特点，可以实现对柔性曲面驱动器曲面变形位置的精确控制。

主权项

基于IPMC的阵列式柔性曲面自传感驱动器，其特征在于：所述自传感驱动器是在聚电解质柔性基体层(1)的上、下表面皆呈阵列式设置有多个片状电极(2)，位于上表面的多个片状电极与位于下表面的多个片状电极一一对称；相对称的两片状电极及夹持在两片状电极中间的部分聚电解质柔性基体层形成一功能元件，所述功能元件为传感功能元件(A)或致动功能元件(B)；在所述自传感驱动器上同时存在传感功能元件和致动功能元件；在各片状电极的边缘皆向外延伸有电路(3)，各电路从聚电解质柔性基体层的一侧引出。