| 摘要 |
本発明は、検査機構と電気的に結合可能な少なくとも一つの導体基体(2)と、少なくとも一つのコンタクト部間隔変換器(4)と、電気コンタクト要素(9)を具備しており、とりわけコンタクト要素(9)で存在しているコンタクト方向(19)での異なる接触コンタクト部間隔を補整するのに役立つ少なくとも一つのコンタクトヘッド(3)とを備えた、コンタクト方向(15)に行われる被検体(5)、とりわけウエハの電気的接触コンタクトのための電気コンタクト装置(1)に関する。コンタクトヘッド(3)は導体基体(2)とコンタクト部間隔変換器(4)の間に配置されていることが企画される。【選択図】図２ |
