トリクロロシランの製造

摘要

本発明は、金属シリコン（ｍｇ−Ｓｉ）とＨＣｌとの反応によってトリクロロシラン（ＴＣＳ）を製造する方法であって、０．０６ｗｔ％超のチタン含有量を有するｍｇ−Ｓｉを利用することを含む、方法を提供する。